Инфракрасные сенсоры на микроэлектромеханических элементах

Компании Sarnoff и Sarcon Microsystems совместно разработали новый инфракрасный сенсор, построенный с использованием микроэлектромеханических (MEMS) элементов. Матрица 320х240 воспринимает изображение в невидимом человеческому глазу инфракрасном спектре.

В ИК-датчиках, используемых сегодня, применяются терморезисторы. Новый же прибор воспринимает тепловую картину посредством MEMS-датчиков, изгибающихся под воздействием температуры. Датчик представляет собой конденсатор, одна из пластин которого - биметаллическая пара (композит из металлов с разными коэффициентами теплового расширения). Окрашенная в чёрный цвет пластина нагревается и изгибается, меняя ёмкость конденсатора. Каждый MEMS-механизм соответствует одному пикселю картинки, а величина изгиба соответствует уровню теплового излучения.

Вверху - излучения нет, внизу - датчик реагирует, изменяя ёмкость конденсатора

Разработчики утверждают, что чувствительность нового сенсора выше, чем у существующих неохлаждаемых ИК-датчиков. К тому же производство новинки обещает быть дешевле. В будущем инженеры Sarnoff и Sarcon обещают улучшить характеристики прибора, сделав MEMS-матрицы в 10-20 раз чувствительнее традиционных. Выпускать новые датчики можно на существующих технологических линиях, производящих КМОП-микросхемы.

Новинка найдёт широкое применение - от систем термоконтроля до приборов ночного видения. Коммерческие поставки новых сенсоров начнутся в первом квартале 2004 г.

Источник новости: Sarnoff