В России «возродят» советскую технологию производства микросхем

В Новосибирске учёные из Института ядерной физики им. Г. И. Будкера планируют возродить технологический накопительный комплекс (ТНК), который давно не использовался. Директор института, академик РАН Павел Логачев, сообщил, что этот комплекс будет важен для создания отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники.

ТНК будет основным инструментом для разработки технологии литографов, сложных устройств для печати микросхем, которые на данный момент производит только одна компания в мире. Логачев отметил, что институт создал подобную установку ещё в 1980–1990 годах, но её запуск не состоялся из-за развала Советского Союза. Теперь учёные собираются восстановить и запустить ТНК через три года с примерным бюджетом в полмиллиарда рублей.

Помимо этого, ИЯФ начал разработку ускорителя для отечественного имплантора, который используется в создании микросхем. Работа над этим устройством ведётся совместно с НИИ точного машиностроения в Зеленограде. Обе технологии считаются ключевыми для развития отечественной микроэлектронной промышленности.