Процесс изготовления флэш-памяти 3D NAND ускорили плазменными технологиями
Улучшение производства флэш-памятиИсследователи нашли способ ускорить процесс изготовления флэш-памяти 3D NAND, которая хранит данные более плотно за счет укладки ячеек памяти. Ключ — новый метод с использованием плазмы из фтористого водорода, который позволяет вытравливать глубокие узкие отверстия, необходимые для такой памяти, в два раза быстрее.
/imgs/2025/01/30/13/6721140/cb94eb17dc4a5120fb99413f7c7e2e6f600ee1bc.webp "Процесс изготовления флэш-памяти 3D NAND ускорили плазменными технологиями")
Флэш-память 3D NAND используется в таких устройствах, как камеры, телефоны и компьютеры. Она сохраняет данные в ячейках, которые либо включены, либо выключены, а чтобы вместить больше данных в то же пространство, эти ячейки укладываются друг на друга. Отверстия, которые вырезаются в материале, очень важны для того, чтобы сделать это укладывание возможным.
Используя фтористый водород в плазме, исследователи смогли значительно увеличить скорость процесса травления (более чем в два раза)