В России создали новый источник ультрафиолета для микроэлектроники
Разработка МЭИ ускорит создание отечественных микросхемУченые Национального исследовательского университета «МЭИ» разработали источник излучения в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне (ЭУФ). Эта технология позволит улучшить процесс литографии микросхем, делая их компактнее и повышая быстродействие.